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PIEZOCONCEPT Nanopositioners

Introduction︰

PIEZOCONCEPT is the leading provider of nanopositioners dedicated to applications such as Super Resolution Microscopy, Optical Trapping and Atomic Force Microscopy. Our customers include many leading scientists engaged in leading edge research at world class universities and institutes. For many decades, researchers bought stages equipped with capacitive sensors.  But our users wanted  better stability and linearity and new powerful microscopy techniques demanded a major rethink. Something more stable was required. We decided to take a long hard look at these systems and see if there was a better, more elegant, solution to providing accurate and stable positionning.  We developed a range of ultra-stable nanopositionners able to meet a wide range of microscopy applications with significant advantages over the currently available products.

As one of our biggest advantages,  the sensor we use outperforms high-end capacitive sensor because of their exceptionally high signal, leading to picometric stability. Also, because of the very low-noise electronics and the flexure design stage we offer, we can ensure subnanometric (or sub-nanoradian) noise floor.


 

Characteristic

 

Single axis translation stage

Single axis Z piezostage

HS1

HS1APERTURE

FOC

Z-INSERT

Range of motionμm

30\50\70

30\50\70

100\200\300

100\200\300

Resolutionnm

0.03\0.05\0.07

0.03\0.05\0.07

0.1\0.2\0.3

0.1\0.2\0.3

Typical noise floornm

0.003\0.005\0.007

0.003\0.005\0.007

0.01\0.02\0.03

0.01\0.02\0.03

Full range repeatabilitynm

0.06\0.1\0.14

0.06\0.1\0.14

0.2\0.4\0.6

0.2\0.4\0.6

Linearization

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

Resonant frequencyHz

4000

4000

500\350\250

500\450\350

StiffnessN/μm

3

3

0.6\0.4\0.4

0.6\0.6\0.4

Maximun loadkg-horizontal use

1

1

0.5

1

Maximun lodakg-vertical use

0.5

0.5

0.5

0.5

Sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Size W*L*Hmm

62.5*69.5*12.6
62.5*89.5*12.6
62.5*111.5*12.6

62.5*96.1*12.6
62.5*116.1*12.6
62.5*138.1*12.6

53.6*64.2*34.5

109.8*159.8*19.1

Material

AL

AL

AL

Cable lengthm

2

2

2

2

Recommended Colltroller

Standard or High Speed

Standard or High Speed

Standard

Standard

 

 

Two axis XY piezostage

Two axis Tip-Tilt piezostage

BIO2

LT2

LFHS2

LTHS2

TT2

Range of motion XYμm

100\200\300

100\200\300

75

75

5

Resolution XYnm

0.1\0.2\0.3

0.1\0.2\0.3

0.075

0.075

0.005

Typical noise floor XYnm

0.01\0.02\0.03

0.01\0.02\0.03

0.0075

0.0075

0.0005

Full range repeatability XYnm

0.2\0.4\0.6

0.2\0.4\0.6

0.15

0.15

0.01

Linearization

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

0.02%

Resonant frequency X\YHz

500\400
400\350
300\250

500\400
400\350
300\250

3000\2000

1500\1000

4000\2000

Stiffness X\YN/μm

0.6\0.5
0.5\0.4
0.4\0.3

0.6\0.5
0.5\0.4
0.4\0.3

4.0\3.0

2

N\A

Maximun loadkg-horizontal use

1

1

1

0.5

0.2

Maximun lodakg-vertical use

0.5

0.5

0.5

0.3

0.2

Sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Size W*L*Hmm

206.5*152.5*15.6

155.5*152.5*15.5

120.8*120.7*28.5

152.5*190*18.5

51*60.5*43.2

Material

AL

AL

AL

AL

AL

Cable lengthm

2

2

2

2

2

Recommended Colltroller

Standard

Standard

 High Speed

Standard or High Speed

Standard or High Speed

 

Three axis XYZ piezostage

BIO3

LT3

LFHS3

CUBE3

Range of motion XYZμm

100\200\300

100\200\300

75\75\50

100\200

Resolution XYZnm

0.1\0.2\0.3

0.1\0.2\0.3

0.075\0.075\0.05

0.1\0.2

Typical noise floor XYZnm

0.01\0.02\0.03

0.01\0.02\0.03

0.0075\0.0075\0.005

0.01\0.02

Full range repeatability XYZnm

0.2\0.4\0.6

0.2\0.4\0.6

0.15\0.15\0.1

0.2\0.4

Linearization

0.02%

0.02%

0.02%

 

Resonant frequency X\Y\ZHz

500\400\400
400\350\300
300\250\250

500\400\400
400\350\300
300\250\250

3000\2000\1500

200\200\500

Stiffness X\Y\ZN/μm

0.6\0.5\0.5
0.5\0.4\0.4
0.4\0.3\0.3

0.6\0.5\0.5
0.5\0.4\0.4
0.4\0.3\0.3

4\3\3

0.3\0.3\0.6

Maximun loadkg-horizontal use

1

1

1

1

Maximun lodakg-vertical use

0.5

0.5

0.5

0.5

Sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Size W*L*Hmm

152.5*213*20.45

152.5*193*20.7

140*121*33.6

140*121*33.6

Material

AL

AL

AL

AL

Cable lengthm

2

2

2

2

Recommended Colltroller

Standard

Standard

Standard

Standard

 

Technical parameter
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