站内搜索

服务热线

010-82782023

新型Mems测试平台

简介︰

        MCP Mems测试平台是一种用于微电子机械系统的新概念实验室仪器,它可以用来精确地表征电容式Mems静态和动态的电气及机械特性,共振频率可达500Khz。给你直接提供Mems的真实行为基本信息,例如共振频率,品质因子,残余电容,吸合电压,释放电压。通过软件,其他一些期间参数也可以被提取出来,例如静电软化,机械偏移,过度蚀刻,机械非线性等。可以针对客户需要定制专门的测试流程。所有这些这需要一台仪器就可以实现。 MCP测试平台最初设计是用于Mems惯性器件测试如加速度计和陀螺仪,但它也可以被用来测试其他一些器件比如磁力计,微镜,麦克风,压力传感器和其他一些Mems器件。



产品概述和特点



产品特点:

  • 10Ff-100pF电容测量范围;

  • <1fF rms电容检测分辨率;

  • 超过130kHz动态电容变化量;

  • “In-operation”特性描述;

  • 压敏电阻检测(可选);

  • 最大传感电容:15pF;

  • 精确度在3%以内;

  • 50mV(+/-50V)运行电压;

  • Low-Q时MEMS响应数据。

 


测试能力:

  • 测试模式:单端和差分;

  • 残余电容;

  • 静态电容变化;

  • 不同静电下激励下的动态电容变化(正弦,方波,三角等其它波形激励);

  • 不同外部同步压力下的动态电容变化(电容,加速度,角度矢量等);

  • 频率扫描。

     


直接参数提取(无需用户提供其他数据):

  • 电容偏移(对于差分结构的Mems);

  • 吸合电压和释放电压;

  • 固有/本征频率;

  • 品质因子;

  • 波特图。

 


间接测试(用户需提供一些Mems数据):

  • 机械偏移(对于差分结构的Mems);

  • 表面电荷;

  • 陀螺仪的正交性误差;

  • 断裂强度和杨氏模量的评估;

  • 附着力及表面接触老化。

技术参数

Low-QMEMS响应数据

High-QMEMS响应数据

非线性MEMS响应数据

CV曲线(pull-inpull-out

相关下载