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JED-2300/2300F 能谱仪

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JED-2300/2300F Analysis Station是以“图像观察和分析“ 为基本理念的TEM/EDS集成系统,通过与SEM的马达驱动样品台联动使用,可以进行大范围的观察和分析。EDS通过检测被电子束激发出的样品的特征X射线,确定样品含有的元素及成分比,可以进行微区的点分析、线分析及面分析。

  • JSM-6510/LA, JSM-6610A/LA 系列
  • 可以在SEM图像上指定分析位置,开始EDS分析。
  • VID
  • 将采集的X射线谱图和Visual PeakID(VID)合成的谱图进行比较,定性结果可以通过视觉、数值判断。
  • Play Back
  • Play Back (回放) 功能
    用JEOL制造的EDS采集的元素面分布图,不仅保存了每一帧中各个像素点的谱图,还对每一帧中电子束形成的图像进行了存储。利用Play back功能,可以进行多角度的分析如观测谱图等随时间的变化等。测试后数据能够回放,可以观察到样品按时间顺序发生的变化,这是至今为止无法实现的。此外,利用Play Back功能还可以截取任意指定的画面。
  • Smile Station™ 2
  • Smile Station™2功能通过在多个视野上自动进行分析,生成SEM和元素面分布图的无缝蒙太奇图像,也可以在取得的视野上进行连续的元素面分布和点分析等。(专利号4175597)
  • Dry SD 检测器
  • Dry SD 检测器(SDD检测器)与传统的EDS检测器不同,不需要液氮制冷。使用快速简单,同时实现了高分辨率和高计数率处理。